반도체의 성능을 높이는

CMP 장비

한국생산기술연구원 정밀기계공정제어연구그룹
김형재 수석연구원, 이태경 선임연구원

반도체하면 대한민국, 대한민국하면 반도체!
우리나라의 핵심 산업인 반도체를 더 미세하고 더 평탄하게 만들기 위해 CMP 장비 기술을 개발 중입니다!

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