고속 멀티 프로빙

웨이퍼 검사 시스템

한국생산기술연구원 디지털전환연구부문
남경태 수석연구원, 모승기 포스트닥터, 추성원 연구원

반도체 검사 공정을 더 빠르고, 저렴하게!
한 번에 여러 장의 웨이퍼를 동시에 검사할 수 있는 고속 멀티 프로빙 웨이퍼 검사 시스템을 소개합니다!

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