¿¬±¸¼º°ú »ç·Ê
������ ¹æÁ¦ µå·Ð ¡®Å¬¶ó¿ìµå ±â¼ú¡¯ ¸¸³ª´Ï ³ó¹Îµµ ±â°üµµ ¸¸Á· |
����� ¿Âµµ µû¶ó ½º½º·Î ¿ Â÷´Ü ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì ¡®±Þ¼Ó±¤¼Ò°á¡¯ °øÁ¤À¸·Î »ó¿ëÈ ÀÌ·é´Ù |
������ ¿µ¾Æ¿ë ¿¡¾î¹é, 2.5§¯ÀÇ °ø°£À¸·Î »ý¸íÀ» »ì¸°´Ù |
¡ã±è´ë¾÷ Çѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø ÀüºÏº»ºÎ ź¼Ò°æ·®¼ÒÀçÀÀ¿ë±×·ì ¹Ú»ç°¡ »ý»êºñ¸¦ Àý°¨ÇÏ´Â »õ·Î¿î °øÁ¤À¸·Î Á¦ÀÛÇÑ ¡®½º¸¶Æ® À©µµ¿ì¡¯ Çʸ§À» µé¾î º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù. ¨ÏÇѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø
¹Ì·¡ÀÇ Ã¢¹®Àº ´Ü¼øÈ÷ ¹ÛÀ» ¹Ù¶óº¸°Å³ª ¿À» Â÷´ÜÇÏ´Â µ¥ ±×Ä¡Áö ¾Ê´Â´Ù. ¿ÜºÎ·ÎºÎÅÍ º¸ÀÌ´Â »öÀ» ¸¶À½´ë·Î ¹Ù²Ù¸ç ¾Æ¸§´Ù¿î ¹«´Ì¸¦ ¸¸µå´Â°¡ ÇÏ¸é »óȲ¿¡ µû¶ó ¹Þ¾ÆµéÀÌ´Â ¿À» Á¶ÀýÇØ ½Ç³» ¿Âµµ¸¦ ÄèÀûÇÏ°Ô À¯ÁöÇØÁֱ⵵ ÇÑ´Ù. ±×¾ß¸»·Î ¡®¶È¶ÈÇÑ¡¯ â¹®ÀÎ ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì°¡ ÃÖ±Ù °³¹ßµÇ°í ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù. °Ç¹° ¿ÜºÎ Àüü°¡ À¯¸®·Î ÀÌ·ïÁø ºôµùÀÌ ´Ã¾î³ª´Â µî À¯¸®ÀÇ ¾²ÀÓ»õ°¡ Ä¿Áö¸ç ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì ±â¼úÀÇ Á߿伺µµ Ä¿Áö°í ÀÖ´Ù.
¹®Á¦´Â ºñ¿ëÀÌ´Ù. Áö±Ý±îÁö °³¹ßµÈ ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì´Â ¾ç»êÀÌ ¾î·Á¿ö »ý»êºñ¿ëÀÌ ³ô°í Àü±â¸¦ °è¼Ó È°¿ëÇØ¾ß Çß´Ù. À¯Áöºñ°¡ ¸¹ÀÌ µé¾î Àû¾îµµ ºñ¿ë Ãø¸é¿¡¼´Â ¡®½º¸¶Æ®¡¯ÇÏÁö ¾Ê¾Ò´Ù. ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì°¡ ¾ÈÂøµÇ·Á¸é °¡°Ý °æÀï·ÂÀÌ Çʼö´Ù. ±è´ë¾÷ Çѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø ÀüºÏº»ºÎ ź¼Ò°æ·®¼ÒÀçÀÀ¿ë±×·ì ¹Ú»ç ¿¬±¸ÆÀÀº ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì¸¦ ¾ç»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »õ·Î¿î °øÁ¤À» °³¹ßÇØ »ý»êºñ¿ëÀ» 40% Àý°¨ÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù.
´ë·®»ý»ê ¾î·Á¿î ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì ¡®±Þ¼Ó±¤¼Ò°á¡¯·Î ÇØ°á
½º¸¶Æ® À©µµ¿ì´Â À¯¸®¸¦ Åõ°úÇØ ½Ç³»·Î µé¾î¿À´Â ž籤À» Á¦¾îÇÏ´Â ±â´ÉÀ» °®Ãá âÀ» ¶æÇÑ´Ù. Å©°Ô ¿ÜºÎ¿¡¼ Àü¿øÀ» °ø±ÞÇØ Á¶ÀýÇÏ´Â ¹æ½Ä°ú ¹Ù±ù ȯ°æ¿¡ µû¶ó ½º½º·Î¸¦ ¹Ù²î´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î ³ª´¶´Ù. Àü±â¸¦ ÅëÇØ ±¤¼± Åõ°úµµ¸¦ ¹Ù²Ù´Â ¡®Àü±âº¯»ö¡¯ ±â¼úÀÌ ÁÖ·Î ¾²ÀÌÁö¸¸, ÀÌ ±â¼úÀº °¡½Ã±¤¼± Â÷´Ü ±â´ÉÀº ¿ì¼öÇÑ ¹Ý¸é ¿ÜºÎ Àü¿øÀÌ ÇÊ¿äÇØ À¯Áöºñ°¡ ¸¹ÀÌ µç´Ù. ¶Ç ´Ù¸¥ âÀÇ ÁÖ¿ä ±â´ÉÀÎ ¿ÂµµÁ¶Àý ±â´Éµµ °®ÃßÁö ¸øÇÑ´Ù.
¡ã¿ÜºÎ ¿Âµµ¿¡ µû¶ó Àû¿Ü¼±·®À» Á¶ÀýÇÏ´Â ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì ¼ÒÀç·Î´Â ÀÌ»êȹٳªµãÀÌ ¾²ÀδÙ. ±è´ë¾÷ ¹Ú»ç ¿¬±¸ÆÀÀº ÀÌ»êȹٳªµãÀ» ¿ë¾× ÇüÅ·ΠÄÚÆÃÇÑ ÈÄ Ç¥¸é¿¡¸¸ ºûÀ» ÂÉ¿© ¼Ò°áÇÏ´Â °øÁ¤À» °³¹ßÇß´Ù. ¨ÏÇѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø
ȯ°æ¿¡ µû¶ó º¯ÈÇÏ´Â ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì¸¦ ¸¸µå´Â µ¥¿¡´Â ÀÌ»êȹٳªµãÀ» ÁÖ·Î È°¿ëÇÑ´Ù. ÀÌ»êȹٳªµãÀº ƯÁ¤ ¿Âµµ¿¡¼ °áÁ¤±¸Á¶°¡ ¹Ù²î´Â ¡®»óÀüÀÌ¡¯¸¦ ÀÏÀ¸Å²´Ù. ¿Âµµ°¡ ³ô¾ÆÁ® 68¡É°¡ µÇ¸é »óÀüÀÌ°¡ ÀϾ Åë°ú½ÃÅ°´ø Àû¿Ü¼±À» ¹Ý»çÇÑ´Ù. ÀÌ»êȹٳªµã¿¡ ÅÖ½ºÅÙ°ú °°Àº ºÒ¼ø¹°À» ¼Ò·® ÷°¡ÇÏ¸é »óÀüÀÌ°¡ ÀϾ´Â ¿Âµµ¸¦ Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. 30¡Éº¸´Ù ¿Âµµ°¡ ³ôÀ» ¶§ ¿À» Â÷´ÜÇÏ°í ½Í´Ù¸é 30¡É¿¡ »óÀüÀÌ°¡ ÀϾµµ·Ï Á¶ÀýÇÏ¸é µÇ´Â ½ÄÀÌ´Ù.
ÀÌ»êȹٳªµãÀ» È°¿ëÇÏ´Â ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì´Â À¯¸®³ª Çʸ§ À§¿¡ ÀÌ»êȹٳªµã ¹Ú¸·À» ÄÚÆÃÇØ ¸¸µç´Ù. ´ëºÎºÐ ÀÌ¿ÂÈµÈ ¿øÀÚ¸¦ ÁõÂø½ÃÅ°´Â ¡®½ºÆÛÅ͸µ¡¯À̳ª ±âü »óÅ·Π»Õ¾î ÀÔÈ÷´Â ¡®ÈÇбâ»óÁõÂø¹ý(CVD)¡¯À¸·Î ¹Ú¸·À» Çü¼ºÇϴµ¥, ÀÌ ±â¹ýµéÀº ´ë·®»ý»êÀ» ÅëÇÑ »ó¿ëÈ°¡ ½±Áö ¾Ê´Ù´Â °Ô ¹®Á¦´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÌ»êȹٳªµã¿¡ ¿À» °¡ÇØ ³ª³ëÀÔÀÚ °£ Ŭ·¯½ºÅÍ Çü¼ºÀ¸·Î °áÁ¤¼ºÀ» Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Â ¡®¼Ò°á °øÁ¤¡¯ÀÌ ÇÊ¿äÇѵ¥ 600¡É~700¡ÉÀÇ °í¿Â¿¡¼ ¼ö ºÐÀÇ ½Ã°£À» À¯ÁöÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ½ºÆÛÅ͸µÀ̳ª CVD´Â Àåºñ ¶ÇÇÑ °í°¡ÀÎ µ¥´Ù Àåºñ ¼Ó¿¡¼¸¸ Á¦Ç°À» »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ºôµù¿¡ ¾²´Â ´ë¸éÀû À¯¸®¸¦ ÄÚÆÃÇϱ⠾î·Æ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ÀÌ»êȹٳªµãÀ» ¿ë¾× ÇüÅ·Π¾ã°Ô »Ñ¸° ´ÙÀ½ ºûÀ» ª°Ô ÂÉ¾Æ Ç¥¸é¸¸ ¾ã°Ô ¼Ò°áÇÏ´Â ¡®±Þ¼Ó±¤¼Ò°á¡¯ ±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù. ÀÌ»êȹٳªµãÀÌ Æ÷ÇÔµÈ ³ª³ëÀ×Å©¸¦ ÃÊÀ½ÆÄ ½ºÇÁ·¹ÀÌ·Î ÄÚÆÃÇÑ ÈÄ Á¦³í·¥ÇÁ¸¦ ª°Ô ÂÉ¿© ¹Ú¸·À» ¼Ò°áÇÏ´Â ±â¼úÀÌ´Ù. ÀÔÀÚ¿¡ ¼öõ ºÐÀÇ 1ÃÊ ´ÜÀ§·Î ÇѼø°£ °ÇÑ ºûÀ» ½î¸é ¹°ÁúÀÇ Æ¯¼ºÀ» º¯È½Ãų ¼ö ÀÖ´Â ¿ø¸®¸¦ ¼Ò°á¿¡ È°¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. ±è ¹Ú»ç´Â ¡°±Þ¼Ó±¤¼Ò°áÀº ÀμâÀüÀÚ ºÐ¾ß¿¡ ÁÖ·Î ¾²¿´À¸³ª ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì¿¡ Àû¿ëÇÑ °ÍÀº óÀ½¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
±Þ¼Ó±¤¼Ò°áÀ» ÀÌ¿ëÇØ Á¦ÀÛÇÑ ½º¸¶Æ®À©µµ¿ì´Â °¡½Ã±¤¼± Åõ°úÀ²°ú Àû¿Ü¼± Åõ°úÀ² µî¿¡¼ ¸ðµÎ ÇÕ°ÝÁ¡À» ¹Þ¾Ò´Ù. ¼±¸íÇÑ ½Ã¾ß¿¡ ÇÊ¿äÇÑ °¡½Ã±¤¼± Åõ°úÀ²À» 72.3%·Î ³ôÀ̸鼵µ Àû¿Ü¼± Åõ°úÀ²Àº 28.99%±îÁö ¶³¾îÆ®·Á º»¿¬ÀÇ ±â´ÉÀ» °ÈÇß´Ù. ÇöÀç ¼¼°è¿¡¼ °³¹ß ÁßÀÎ ½º¸¶Æ® À©µµ¿ìÀÇ °¡½Ã±¤¼± Åõ°úÀ²Àº 60%, Àû¿Ü¼± Åõ°úÀ²Àº 40% Á¤µµ´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀÌ °³¹ßÇÑ ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì´Â 10¸¸ ¹ø ÀÌ»ó »óÀüÀ̸¦ °ÅÃĵµ ³»±¸¼º¿¡ ¹®Á¦°¡ ¾ø´Â °ÍÀ¸·Î È®ÀεƴÙ.
¡ã ±è´ë¾÷ ¹Ú»ç(éÓ)¿Í À±Áö¿ø ¿¬±¸¿ø(ñ§)ÀÌ ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì Çʸ§ ½ÃÁ¦Ç°À» È®ÀÎÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀÌ °³¹ßÇÑ ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì´Â °¡½Ã±¤¼± Åõ°úµµ´Â ³ôÀ̸鼵µ Àû¿Ü¼± Åõ°úÀ²Àº ÇÑÃþ ³·Ãç ±â´ÉÀ» °³¼±Çß´Ù. ¨ÏÇѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø
½º¸¶Æ® À©µµ¿ì »ý»êºñ¿ë 40% Àý°¨
ÀÌ ±â¼úÀÇ ÇÙ½ÉÀº °øÁ¤ ºñ¿ëÀ» ³·Ãâ ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡ÀÌ´Ù. ±Þ¼Ó±¤¼Ò°á °øÁ¤À» È°¿ëÇϸé Á¦°ö¹ÌÅÍ´ç 3¸¸ ¿øÀ¸·Î Ãß»êµÇ´Â ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì »ý»êºñ¿ëÀ» 40% ÁÙ¿© 1¸¸ 8õ¿ø±îÁö ³·Ãâ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù. À¯¸®¸¦ Àåºñ¿¡ ÇÑ À徿 ³Ö°í ¿À·£ ½Ã°£ ±â´Ù·Á¾ß ÇÏ´Â ±âÁ¸ °ø¹ý°ú ´Þ¸® ÄÁº£ÀÌ¾î º§Æ®Ã³·³ À¯¸®¸¦ »Ì¾Æ³»¸é¼ ÄÚÆðú ¼Ò°áÀ» ¿ÜºÎ ±â°è·Î ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ¾ç»ê¿¡ ÃÖÀûȵƴÙ. ¿©±â¿¡ ¼Ò°á¿¡ °É¸®´Â ½Ã°£À» 1¸¸ ºÐÀÇ 1·Î ÁÙ¿© °æÁ¦¼º ¶ÇÇÑ ³ô¿´´Ù.
ÀÌ °øÁ¤À» È°¿ëÇϸé À¯¸®»Ó ¾Æ´Ï¶ó ÃÖ±Ù È°¿ëµµ°¡ Ä¿Áö´Â À¯¿¬ ±âÆÇ¿¡µµ ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì ±â´É Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇØÁø´Ù. ±âÁ¸ ±â¼úÀº ³ôÀº ¿Âµµ¸¦ ¿ä±¸ÇØ À¯¿¬ ±âÆÇÀÌ ³ì¾Æ¹ö¸®´Â ¹®Á¦°¡ ÀÖ¾ú´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÌ ±â¼úÀº ¿Âµµ°¡ ³·Àº »óÅ¿¡¼ °øÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÒ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó Ç¥¸é¿¡¸¸ ¿À» °¡Çϱ⠶§¹®¿¡ À¯¿¬ ±âÆÇ¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖÁö ¾Ê´Â´Ù. ±è ¹Ú»ç´Â ¡°À¯¿¬ ±âÆÇÀº À¯¸® »óÀüÀÌ ¿Âµµ°¡ 120¡ÉÀε¥ ±âÁ¸ ¼Ò°á ±â¼úÀ» È°¿ëÇÏ¸é ±âÆÇÀÌ ³ì¾Æ¹ö¸®´Â ¹®Á¦°¡ ÀÖ¾ú´Ù.¡±¸ç ¡°±Þ¼Ó±¤¼Ò°áÀº 40~60¡É°¡·®ÀÇ »ó´ëÀûÀ¸·Î ³·Àº ¿Âµµ¿¡¼ °øÁ¤ÀÌ ÁøÇàµÇ±â ¶§¹®¿¡ ±âÆÇÀÌ ³ì´Â ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù."°í ¸»Çß´Ù.
½º¸¶Æ® À©µµ¿ì ±â¼úÀÇ Çʿ伺Àº Á¡Â÷ Ä¿Áö´Â Ãß¼¼´Ù. ÃÖ±Ù °Ç¹° ¿Üº®À» ÅëÀ¯¸®·Î Á¦ÀÛÇÏ´Â µî À¯¸®¸¦ È°¿ëÇÏ´Â °Ç¹°ÀÌ ¸¹¾ÆÁ³±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. È÷Åͳª ¿¡¾îÄÁ ¾øÀ̵µ ¿Âµµ¸¦ À¯ÁöÇÏ´Â ½º¸¶Æ® ºôµù °³³äµµ µîÀåÇÏ¸ç ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì°¡ Áß¿äÇÑ ¿ä¼Ò·Î È°¿ëµÈ´Ù´Â ±â´ë´Ù. ÀÌ¹Ì ¼¼¿öÁø °Ç¹° âȣ¿¡µµ Çʸ§À» ºÙÀÌ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î ¿Âµµ Á¶Àý ±â´ÉÀ» ºÎ¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ±è ¹Ú»ç´Â ¡°½º¸¶Æ® À©µµ¿ì ±â´ÉÀ» ºÎ¿©ÇÑ Çʸ§À» ºÎÂøÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î °Ç¹°ÀÇ ¿¬°£ ¿¡³ÊÁö ¼Òºñ·®À» 30% °¡·® Àý°¨ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.¡±°í ¸»Çß´Ù.
¡ã±è´ë¾÷ ¹Ú»ç´Â ¡°»ý±â¿ø ³»ºÎ°úÁ¦¸¦ ÅëÇØ 3³â°£ ¿¬±¸°³¹ßÀ» °ÅÃÆ°í Áö³ÇØ ¸¶Áö¸· ¿¬Â÷¿¡¼ ¿ì¼öÇÑ Æò°¡¸¦ ¹Þ¾Ò´Ù¡±¸ç ¡°3³â°£ ƯÇã 15°Ç, ³í¹® 10ÆíÀ» ¹ßÇ¥ÇÏ´Â ¼º°ú¸¦ °Åµ×´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. ¨ÏÇѱ¹»ý»ê±â¼ú¿¬±¸¿ø
ÀÌ ±â¼úÀº âȣ»Ó ¾Æ´Ï¶ó ÀÚµ¿Â÷³ª ½Ä¹°À» ±â¸£´Â ¿Â½ÇÀÇ À¯¸®, ºñ´Òó·³ ½º¸¶Æ® À©µµ¿ì ±â´ÉÀ» È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °÷À̶ó¸é ¾îµðµç ¾²ÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. ±è ¹Ú»ç´Â ¡°¿©¸§Ã¶ ¿Á¿Ü À¯¸®Ã¢ÀÇ Ç¥¸é ¿Âµµ´Â ¾à 40¡É Á¤µµÀε¥, »óÀüÀÌ ¿Âµµ¸¸ 40¡É ÀüÈÄ·Î Á¶ÀýÇÏ¸é ½Ç³» ¿Âµµ À¯Áö¿¡ ÃæºÐÈ÷ È¿°ú°¡ ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.¡±°í ¸»Çß´Ù.
°øÁ¤°³¹ß¿¡ ¼º°øÇÏ°í »ó¿ëÈ °¡´É¼ºÀÌ Ä¿Áö¸é¼ ±â¼úÀÌÀü¿¡ ´ëÇÑ ³íÀǵµ À̾îÁö°í ÀÖ´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀº Áö³ÇØ ¾×Á¤ Çʸ§ Á¦Á¶±â¾÷ ¡®Å¥½Ã½º¡¯¿¡ °ü·Ã ±â¼ú ÀϺθ¦ ÀÌÀüÇß´Ù. °æ»ó±â¼ú·á´Â 5,000¸¸¿øÀÌ´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀº ¿ÃÇØ Å¥½Ã½º¿Í °øµ¿À¸·Î »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎÀÇ ¡®ºÎÇ°¼ÒÀç±â¾÷ ¸ÂÃãÇü ±â¼ú°³¹ß»ç¾÷¡¯À» ½ÃÀÛÇØ °øÁ¤À» ÃÖÀûÈÇÏ°í »ç¾÷ÈÇÏ´Â °úÁ¤À» ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù. ±è ¹Ú»ç´Â ¡°»ó¿ëȸ¦ ¸ñÇ¥·Î ¸¸µç ±â¼úÀθ¸Å ±â¾÷¿¡ ±â¼úÀ» ÀÌÀüÇØ¾ß ¿ì¸®µµ ÁÁ°í ±â¾÷µµ ÁÁÀ» °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.