연구보고서
| 보고서명 | 스마트 박막소자 제조를 위한 롤투롤 연속공정 기반 저온 상압 패턴 증착 장비 개발 (1/4) |
| 연구책임자 | 이상호 |
| 발행년도 | 2016 |
| 내 용 | ● 나노급 고품질, 고균일성 박막 증착이 가능한 공간분할형 원자층 박막 증착용 헤드 개발 ● 선택적 박막 증착 공정을 위한 마스킹 패턴 형성용 시스템 개발 ● 선택적 박막 증착 공정을 위한 마스킹 패턴 공정용 광반응성 폴리머 소재 원천 기술 개발 ● 원자층 박막 증착 공정에서 활용되고 있는 전구체의 반응성 한계를 보완하는 새로운 타입의 전구체 소재 원천기술 개발 |
| 접수일 | 2023-02-01 |
| 첨부파일 |
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