연구보고서
| 보고서명 | InP 반도체 집적형 렌즈개발 |
| 연구책임자 | 김광영 |
| 발행년도 | 2016 |
| 내 용 | ?ICP를 이용한 InP-반도체 건식식각 공정 개발 - HBr 등 개스 종류/유량/압력 등에 따른 식각 속도/패턴 등의 관찰을 통해 건식식각 공정의 최적화 ?InP 반도체 렌즈 개발 - ICP 공정을 이용한 InP 렌즈 제작공정 개발 및 지원 |
| 접수일 | 2023-02-01 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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