연구보고서
| 보고서명 | 1차년도 연차보고서 |
| 연구책임자 | 이선종 |
| 발행년도 | 2016 |
| 내 용 | o 본 연구의 개발 대상 기술 · 제품은 보론 및 TOC 함유량이 각각 50 ppt 및 1 ppb인 반도체급 초순수 제조 모듈개발에 적용될 현재 상용화된 제품보다 보론 제거 성능이 우수하고 경제성이 있는 보론 킬레이트 수지 및 이를 이용한 모듈 개발임 o 본 기술개발을 통해 제조된 이온교환 수지는 기타 이온교환 수지와 비교하여 Boron 제거 능력이 높고, 소재에 의한 TOC에 의한 역오염을 원천적으로 차단이 가능함 o 또한 EDI module은 개발될 이온교환수지를 포함하고 있으며, 개발될 이온교환 수지가 나타내는 특성 역시 EDI module을 통해 구현될 수 있음 o 즉 해당 기술을 통해 개발될 이온교환 수지 및 EDI module을 이용하여 보론 제거 및 TOC 역오염 방지에 우수한 반도체급 초순수의 제조가 가능함 |
| 접수일 | 2023-02-01 |
| 첨부파일 |
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