연구보고서
| 보고서명 | 마이크로 엘이디 결함분석, 외관, 모듈성능 검사를 위한 광학적 검사 장비 개발 (1차년도 보고서) |
| 연구책임자 | 김종석 |
| 발행년도 | 2016 |
| 내 용 | - 고속 PL intensity mapping 위한 광학 시스템 설계 및 Hardware 구성 - 초고속 (~1x106/sec의 공간 데이터) 대용량 데이터 처리위한 시스템 개발 - Photoluminescence/투과/산란등에 의한 반도체 내부 및 표면 결함분석 방법 개발 - Electroluminescence에 대한 Photoluminescence 상관관계의 data base를 구축하여 PL에 의한 전기적 특성에 대한 예측기능 개발 - 광학적 관찰 방법에 의한 비발광설 결함, Pit, Hill lock 구분 기술 - 최소 Defect Size 3um급 이하 검출용 Automatic Optical Inspection System 개발 - 마이크로 LED Array 점등검사용 System 개발 |
| 접수일 | 2023-01-31 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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