연구보고서
| 보고서명 | 상변화형 고온 히터플레이트 제작기술 및 성능평가 기술지원 |
| 연구책임자 | 고영배 |
| 발행년도 | 2016 |
| 내 용 | ㅇ 히터 플레이트 실험용 장비의 구조 확인 - 웨이터 8~10“범위의 반도체 장비업체의 히터 플레이트 구조 분석 - 히터 플레이트의 구조 설계 및 제작 ㅇ 다층 표면 구조 설계 및 세라믹 용사코팅 - 금속과 표면 재질인 세라믹간 다층 구조 개발 - 세라믹 층의 형성 - 세라막 층의 단면 및 표면 분석 ㅇ 성능 및 특성 실험과 분석 - 히터 플레이트의 등온 특성실험 - 히터 플레이트의 열충격 시험 - 세라믹 표면의 코팅막 분석 |
| 접수일 | 2023-01-31 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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