연구보고서
| 보고서명 | 브레이징을 위한 RF플라즈마 표면세정기술 최종보고서 |
| 연구책임자 | 강은구 |
| 발행년도 | 2016 |
| 내 용 | ? RF 플라즈마 캐소드 및 애노드 구조설계/제작기술 개발 - 시료크기 : 8인치 이상 - RF Power : 100W 이상 - 가스종류 : 2 이상 - 가스압력 : 100 mTorr 이하 ? 메탈 및 세라믹 소재의 표면 세정 공정기술개발 - 플라즈마 파라미터에 따른 표면세정 특성 분석 |
| 접수일 | 2023-01-31 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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