연구보고서
| 보고서명 | 고표면적 다공성 금속박막 고속 건식 표면처리 장치 및 공정기술 개발 1차년도 보고서 |
| 연구책임자 | 이호년 |
| 발행년도 | 2017 |
| 내 용 | □ 新표면처리 모듈 기반 다공성 금속박막 기반기술 개발 ㅇ 주관기관과 협력을 통한 1,000 ㎟ 기판 대응 新표면처리 모듈 설치 및 시운전 - 기존 sputtering 장비에 1,000 ㎟ 기반 대응 표면처리 모듈 장착 - 설치된 1,000 ㎟ 기판 대응 표면처리 모듈 활용 기초 공정 테스트 ㅇ 新표면처리 모듈 기반 다공성 금속박막 기반기술 개발 - 新표면처리 모듈을 이용한 다공성 금속박막 형성시 각각의 공정변수는 다음과 같은 영향을 미칠 것으로 판단되며 실험을 통한 이에 대한 확인 및 검증이 필요함 - 공정변수 중 다공성 금속박막 구조 및 특성에 형향을 미치는 主공정변수 도출 |
| 접수일 | 2023-01-30 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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