연구보고서
| 보고서명 | Cathodic Arc ion Plating 의 고경도 코팅막 증착공정 기술개발 |
| 연구책임자 | 김왕렬 |
| 발행년도 | 2017 |
| 내 용 | ㅇ 고경도 코팅 박막의 deposition system 장비의 수정 및 개발 ㅇ Cathodic arc source의 설계 변경을 통한 개발 ㅇ 저온에서의 Cathodic arc coating 공정기술 개발 ㅇ 공정에 따른 박막의 물리적 특성(경도, 접합력 등)에 대한 Database 구축 |
| 접수일 | 2023-01-30 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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