연구보고서
| 보고서명 | 초집적(7nm급) 반도체 공정 대응 건식 진공펌프의 고효율화를 위한 가변 피치 로터 모듈 개발 |
| 연구책임자 | 김용대 |
| 발행년도 | 2021 |
| 내 용 | ㅇ 스크류 타입 로터 CSP(Cross-Section Profile) 설계 ㅇ 압축율, 압축효율 및 가공성을 고려한 가변 피치 프로파일 설계 ㅇ 기하형상에 따른 일정 간극 유지 및 회전 안정성 확보를 위한 3차원 스크류 설계 기술 개발 ㅇ 가변 스크류 및 루츠 로터 시제품 제작 ㅇ 로터 하우징 무결함 주조기술 개발 |
| 접수일 | 2023-01-06 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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