연구보고서
| 보고서명 | 300mm 대구경 사파이어 기판 개발 |
| 연구책임자 | 김형재 |
| 발행년도 | 2018 |
| 내 용 | - 대구경 웨이퍼 BOW 최소화를 위한 멀티와이어쏘 공정 개발 - 장시간 정밀절단을 위한 다이아몬드 전착 와이어 절단 특성 연구 - 대구경 웨이퍼의 절단시간 고속화를 위한 장비 핵심 요소기술 도출 - 300mm 절단 기판 측정 시스템 개발 |
| 접수일 | 2023-01-25 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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