연구보고서
| 보고서명 | 유리관통전극의 무결함 충전을 위한 도금액 및 도금공정 기술 개발 |
| 연구책임자 | 이민형 |
| 발행년도 | 2018 |
| 내 용 | ○ Via 내 구리 도금액의 젖음성 (wettability) 극대화 - 고종횡비 TGV 내 구리 도금액의 젖음성 극대화를 위한 도금 첨가제 연구 ○ 후속 공정의 원활한 진행을 위한 저조도 도금막 형성 기술 개발 - 저조도 도금막 형성을 위한 도금액 및 도금공정 조건 최적화 ○ Via 내 고순도?무결함 구리 충전을 위한 유기첨가제의 거동 해석 기술 개발 - QCM 및 EQCM을 활용한 유기첨가제 특성 및 도금막 내 불순물 농도와의 상관관계 분석 - 도금막 내 불순물 농도와 도금막 비저항과의 상관관계 분석 - 유기첨가제 종류 및 농도 최적화를 통한 via 내 고순도?무결함 구리 충전 방법 확립 |
| 접수일 | 2023-01-25 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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