연구보고서
| 보고서명 | 하이브리드 필터드아크이온플레이팅 시스템을 이용한 Al-Cr-N 나노구조코팅막 저온 증착공정 기술개발 |
| 연구책임자 | 김왕렬 |
| 발행년도 | 2018 |
| 내 용 | · 하이브리드 필터드 아크이온플레이팅 시스템 구축 · 전, 후처리 공정 개발 · 네스트 유닛 등 하이브리드 필터드 아크이온플레이팅 시스템 구축 참여 · 기초 나노구조 코팅막 증착 및 특성 분석 및 feed-back · 전, 후처리 공정 후 표면분석 · 나노구조 Al-Cr-N 코팅막 저온 증착 공정 적용 및 공정변수 database화 · 나노구조 Al-Cr-N 코팅막 저온 증착 공정 개발 및 특성 분석 및 feed-back |
| 접수일 | 2023-01-25 |
| 첨부파일 |
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(실무담당자) 김선미
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| 구분 | 내용 |
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