연구보고서
| 보고서명 | 고표면적 다공성 금속박막 고속 건식 표면처리 장치 및 공정기술 개발 |
| 연구책임자 | 이호년 |
| 발행년도 | 2020 |
| 내 용 | □ 新표면처리 모듈 기반 다공성 금속박막 application 기술 개발 ? 다공성 금속박막의 활용성 제고를 위한 공정기술 개발 - 新표면처리 모듈을 활용한 다공성 금속박막 표면처리 기술 개발 ·무전해 도금 등의 습식 표면처리를 통한 core-shell 구조 형성 기술 - 다공성 금속박막 열처리 기술 ·다공성 금속 박막의 산소분위기 열처리를 통한 다공성 산화물 박막 형성기술 ·입자간 / 기판·나노구조간 접합특성 향상을 위한 열처리 기술 - 다공성 산화물 박막 직접형성 가능성 탐색 ·산소 Reactive 스퍼터링 방식을 활용한 다공성 산화물 박막형성 시도 및 특성 평가 ·산화물 타겟을 활용한 다공성 박막 형성 가능성 평가 ? 활용기업 application 대응 공정 및 특성평가 지원 - 활용기업 application별 적합한 구조 및 공정조건 제안 - 다공성 박막 제작·제공 및 application 특성평가 지원 |
| 접수일 | 2023-01-19 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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