연구보고서
| 보고서명 | 근적외선 VCSEL 에피웨이퍼의 무전극 광전 특성 평가기술 개발 |
| 연구책임자 | 김종석 |
| 발행년도 | 2021 |
| 내 용 | ?VCSEL 에피웨이퍼에 대한 금속 전극 없는 전기적 excitation (전류공급) 기술 개발 ?표면 손상 없는 에피웨이퍼 광전특성 측정 기술 개발 ?에피웨이퍼 상태에서의 광전 특성과 칩 공정 진행 후 VCSEL 칩의 광전 특성 간 상관도 도출 및 높은 상관도를 위한 검사 조건 최적화 ?에피웨이퍼 표면 결함 검사 및 결함에 의한 광전 특성 변화 비교 |
| 접수일 | 2023-01-06 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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