연구보고서
| 보고서명 | 졸젤법을 이용한 저유전율을 갖는 다공성 실리카 코팅층 기술개발 |
| 연구책임자 | 민성욱 |
| 발행년도 | 2019 |
| 내 용 | ○ 에탄올 기반 SiO2 졸젤 기술 개발 - SiO2 코팅은 친수성이며 졸젤으로 제조된 용액의 화학조성 조절을 통해 친수성 정도 조절 가능 - 코팅용액에 따라 수 nm에서 수 um까지 코팅층 조절이 용이함. - SiO2 나노콜로이드 및 radical기가 긴 Si 전구체 사용으로 코팅층의 유연성 확보가 가 능함. - 졸젤용액 설계, (i.e.) 전구체의 종류, Si 소스 용액 다변화 등,를 통해 친수성 및 내마 모성 및 내부식성 조절 가능함. 1. 균일 코팅을 위한용매 농도 및 점도 최적화 - 코팅 용액의 농도 및 점도는 다음 단계인 코팅의 질을 결정함. - 코팅 용액 최적 설계를 통해 전구체의 가수분해 및 condensation 속도 조절 - 균일 두께 및 대면적 코팅을 위한 농도 및 점도 최적화가 요구됨. - 유기금속계 전구체의 균일한 분산, 코팅시 열처리 온도 및 코팅 시간 등을 고려한 용매 및 첨가제 선택 및 최적화 2. 스핀 코팅을 이용한 균일 코팅 기술개발 - 스핀 코팅의 경우 코팅 속도, 면적, 시간 및 추후 열처리 온도 등에 의해 코팅의 질이 결정됨. - 표면 불순물이 남지 않고 균일 코팅 가능한 스핀코팅 공정 최적화 - 스핀코팅 공정 변수(속도, 면적 및 코팅 시간)에 따른 두께 데이터베이스 구축 3. 코팅 표면 평탄화 - 코팅층 폴리싱을 통한 표면의 평탄화 기술 개발 - 약 200nm의 평탄한 코팅층을 갖는 SiO2 코팅 기술 개발 - 코팅 표면의 두께 조절 및 평탄화를 통해 얻어진 유전율 데이터 베이스 구축 4. 졸젤법을 이용한 다공성 SiO2 코팅 연구 개발 - 포어 사이즈 조절에 따른 유전율 데이터 베이스 구축 - 코팅층 전체에서 포어가 차지하는 비율을 높여 낮은 유전율을 가지는 코팅층 개발 및 데이터 베이스 구축 5. 다공성 SiO2 코팅층의 신뢰성 평가 - 전기적 특성 평가 (low-k : 2.0~2.5) - 누설 전류 평가 (4-5 μA) - Break voltage 평가 (up to 50V) - 내마모성 평가 - 기판에 따른 코팅 특성 데이터 베이스 구축 |
| 접수일 | 2023-01-18 |
| 첨부파일 |
논문자료 문의는 아래의 담당자에게 문의주세요.
담당부서 : 총무운영실
(실무담당자) 김선미
아래그림의 글자를 입력하세요.
| 구분 | 내용 |
|---|---|
    |
|
|
이 웹 사이트는 개인정보
보호를 위해 전화번호 추출을
금지하고 있습니다.
