연구보고서
| 보고서명 | 8.5세대 초청정 능동형 자기장 자동제어 원통형 캐소드 부품 개발 연차보고서 |
| 연구책임자 | 양찬우 |
| 발행년도 | 2022 |
| 내 용 | [1차년도 개발내용] (한국생산기술연구원) 원통형 싱글 캐소드 플라즈마 전산모사 기반 마그넷 시작품 수정 최적 설계안 피드백, 실시간 플라즈마 분포 모니터링 방안 수립 [2차년도 개발내용] (한국생산기술연구원) 자기장/타겟침식에 따른 원통형 싱글 캐소드 플라즈마 전산모사 및 박막평가 검증, 자기장 제어 최적조건 도출 알고리즘 기술 개발 [3차년도 개발내용] (한국생산기술연구원) 자기장/타겟침식에 따른 원통형 싱글 캐소드 플라즈마 전산모사 및 박막평가 검증, 자기장 자동제어 피드백 알고리즘 기술 개발 [4차년도 개발내용] (한국생산기술연구원) 재증착 영역 최소화를 위한 플라즈마 전산모사 이용 최적화 설계 피드백, 수요기업 피드백 반영 자기장 자동제어 알고리즘 기술 최적화 |
| 접수일 | 2023-01-11 |
| 첨부파일 |
논문자료 문의는 아래의 담당자에게 문의주세요.
담당부서 : 총무운영실
(실무담당자) 김선미
아래그림의 글자를 입력하세요.
| 구분 | 내용 |
|---|---|
    |
|
|
이 웹 사이트는 개인정보
보호를 위해 전화번호 추출을
금지하고 있습니다.
