연구보고서
| 보고서명 | 친환경 냉동시스템 기반 연속공정형 반도체 패키지 테스트 챔버 기술개발(2/3) |
| 연구책임자 | 김정열 |
| 발행년도 | 2021 |
| 내 용 | o 5.1 ㎥급 연속공정형 3챔버 부하 대응 친환경 냉동 시스템 개발 및 성능평가 - 5.1 ㎥급 3챔버 Main 냉동/ Sub 냉동 시스템 시제품 제작 및 성능평가 - 5.1 ㎥급 3챔버 기반 온도 영역 별 냉동 시스템 용량 및 안정화 성능 검증 - 단위 챔버의 승온/강온 특성 검증 및 보완방안 도출 o 5.1 ㎥급 연속공정형 3챔버 Main 및 Sub 냉매 분배 시스템 개발 및 성능평가 - 5.1 ㎥급 연속공정형 3챔버 Main 및 Sub 냉매 분배 시스템 시제품 개발 - 냉매 분배 시스템 시제품 동작 조건 확보 - 용량 가변형 냉매 분배를 위한 팽창 밸브 제어 로직 개발 - 단위 챔버 간 냉매 분배 시스템 안정화 검증 - 단위 챔버의 냉매 분배 시스템 최적화 및 제어 로직 도출 o 10.2 ㎥ 연속공정형 6챔버 부하 대응 친환경 냉동시스템 사이클 해석 및 최적 설계 - 10.2 ㎥ 연속공정형 6챔버 Main 냉동 사이클 설계 및 최적화 o 송풍 시스템 상세설계 및 운전 모니터링 기술 개발 - 단위 챔버 요소부품의 배치결과를 반영한 송풍 시스템 상세설계(타입, 용량, 압력 등) - 단위 챔버 송풍 시스템 상세설계에 따른 공력학적 성능시험 및 작동 맵 도출 - 송풍 시스템 작동 맵 기반 운전 모니터링 기술 개발 o 연속공정 챔버 유로 상세설계 및 정밀 유동해석 기술 개발 - 칩 테스터 이송용 구조물 및 챔버 요소부품의 배치결과를 반영한 유동특성 분석 - 칩 테스터 이송을 고려한 연속공정용 챔버 유로 상세설계 및 챔버 작동조건을 고려한 정밀 유동해석 - 5.1 ㎥급 연속공정형 3챔버 작동조건에 따른 칩 테스터 내부 온도 균일도 특성 분석 o 연속공정형 챔버의 열손실 대응용 유로차단 에어커튼 시스템 설계 및 평가 - 열차단 효과 분석을 위한 단순화 모델 개발 및 유동해석 기법 개발 - 챔버간 유로차단 에어커튼 시스템 설계 및 적용에 따른 열차단 효과 분석 - 에어커튼 성능평가용 챔버 활용 열차단율 측정 및 평가 |
| 접수일 | 2023-01-10 |
| 첨부파일 |
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