연구보고서
| 보고서명 | 폐가스 처리를 위한 저에너지 방출형 처리시설 및 맞춤형 전처리시설 개발 |
| 연구책임자 | 김형찬 |
| 발행년도 | 2020 |
| 내 용 | - 전압, 히터전압, 고전압 절연, VOC 가스 inlet/outlet, 쿨링 부분 등을 모두 고려하여 설계된 VOC 처리 메인 챔버 제작 - 고전압 장치 인입부는 고전압 전원 장치, 고전압 연결 케이블, 고전압 절연 플랜지(2개의 feedthrough), 고전압 및 히터 전압 연결 소켓로 크게 구성 - 예비연구에서는 -20kV의 고전압을 가해서 히터의 전자들이 메인 챔버 쪽으로 가속되도록 설계 - 히터 전원부는 교류 또는 직류로 최적의 히터 가동 전원부 설계 - 히터 전원부는 고전압 절연 플랜지의 하나의 feedthrough로 연결되고 고전압에 히터전원이 추가되어 인가되므로, 히터전원과 고전압 사이의 전압은 낮으나 메인 챔버와는 고전압이 인가되어 있으므로, 고전압 절연 부분이 고려 되어 설계 |
| 접수일 | 2023-01-10 |
| 첨부파일 |
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