연구보고서
| 보고서명 | 스마트 박막소자 제조를 위한 롤투롤 연속공정 기반 저온·상압 패턴 증착 장비 개발(5/5) |
| 연구책임자 | 이상호 |
| 발행년도 | 2020 |
| 내 용 | O 저온·상압 환경에서 고품질 및 고균일한 박막 패턴 제조가 가능한 선택적 박막 패턴 증착 공정을 위한 원천 기술 개발 - 나노급 고품질, 고균일성 박막 증착이 가능한 원자층 박막 증착용 헤드 개발 - 선택적 박막 증착 공정을 위한 마스킹 패턴 형성용 시스템 개발 - 선택적 박막 증착 공정을 위한 마스킹 패턴 공정용 광반응성 폴리머 소재 원천 기술 개발 - 원자층 박막 증착 공정에서 활용되고 있는 Precursor의 반응성 한계를 보완하는 새로운 타입의 Precursor 소재 원천기술 개발 |
| 접수일 | 2023-01-09 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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