연구보고서
| 보고서명 | 300mm 대구경 사파이어 기판 개발 |
| 연구책임자 | 김형재 |
| 발행년도 | 2017 |
| 내 용 | ? 초대구경 잉곳 절단용 와이어쏘 설계 및 제작 - 웨이퍼의 BOW 최소화를 위한 멀티와이어쏘 공정 분석 - 대구경 웨이퍼의 절단시간 고속화를 위한 기반연구 - 300mm 절단을 위한 고강성 멀티와이어쏘 기본 구조 설계 및 제작 - 멀티와이어쏘 설계 및 구조해석 - 다이아몬드 와이어, 소모품 특성 평가를 통한 정밀도 확보기술 개발 - Avg. BOW<37㎛(8"), Avg. TTV<27㎛(8"), 절단시간 <31hrs |
| 접수일 | 2023-02-08 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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