연구보고서
| 보고서명 | 동물 섬모구조를 모사한 개방형 접합 네트워크 구조 유해가스 검지 전극의 저온(50℃이하) 건식 표면처리기술 개발_3차년도 |
| 연구책임자 | 이호년 |
| 발행년도 | 2017 |
| 내 용 | ○ 동물 섬모구조 모사 전극 물질 종류에 따른 전기화학 전극 구조제어 고속 저온 표면처리 기술 - Evaporation법을 이용한 단일 및 복합성분(산화물) 3차원 개방형 접합 네트워크 전극 표면처리 기술 · 1, 2차년도에 탐색된 전극물질 단일 및 복합성분(산화물) 물질을 동시 증착(표면처리) · 공정변수 변화에 따른 단일 및 복합성분 전극 표면처리 공정 개발 및 기초 물성 평가 · 물성평가 : 전극 표면 및 내부 구조, 두께, 표면적, 기공도, 입도 등 · 공정변수 : 압력, 파워(증착속도), 기판온도, 가스분위기 등 - 표면처리 공정 변수 중 전극 구조 및 특성에 큰 영향을 주는 主공정 변수를 도출 · 울텍에 Feed-back 통한 장비개발에 반영 ○ 동물 섬모수용체 모사 가스 반응성 및 선택성 제고를 위한 전극 표면처리 기술 - Hybrid Source(Evaporation + Sputtering)를 활용한 가스 반응성 및 선택성 제고를 위한 in-situ/ex-situ 촉매 표면처리 기술 · 선정된 단일 및 복합성분 산화물 전극 및 촉매 동시 표면처리 기술 개발 · 단일 및 복합성분(산화물) 3차원 개방형 접합 네트워크 전극 내 촉매입자 분포에 따른 물성평가 ○ 저온 건식 표면처리 전극의 성능평가 및 신뢰성 검증기술 - 전기화학 전극의 물질 및 구조에 따른 검지대상 가스별 반응특성 평가 · 전극 구조(나노 입자 크기, 기공 구조 등), 두께, 표면적, 크기 변화에 따른 가스 반응성 변화 고찰 · 촉매물질 및 촉매 표면처리 방법에 따른 가스 반응성 및 선택도 변화 고찰 - 3차원 개방형 접합 네트워크 전극의 시간에 따른 저항변화 특성 평가 · 전극의 저항변화 평가결과 Feedback으로 전극 물질, 구조 및 표면처리 공정 최적화 - 3차원 개방형 접합 네트워크 전극의 특성평가 방법 표준화 · 나노 다공성 구조의 박막 특성 평가 방법의 국제 표준화를 위한 제안보완 작업 |
| 접수일 | 2023-02-08 |
| 첨부파일 |
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