연구보고서
| 보고서명 | [민간수탁]3인치 아크건 자장설계 및 지르코늄 피복관 크롬 코팅 공정 기술 개발(1/1) |
| 연구책임자 | 조용기 |
| 발행년도 | 2020 |
| 내 용 | ㅇ 3인치 아크건의 설계 - 원형 영구자석을 이용한 3인치 아크건의 자기장 설계 및 영구자석 선정 - 타겟 위치별 자기장 세기 및 아크 방전 트렉 예측 - 보조양극과 세라믹의 위치 및 길이에 대한 설계 - 아크타겟 장시간 사용에 대한 효율 증대를 위한 영향 조사 분석 - 3인치 아크건의 증착범위 조사 및 증착율 및 산포분석 ㅇ 4 M 급 피복관 크롬코팅 장비 최적화를 위한 기술개발 - 4 M 피복관 코팅용 장비의 아크건 위치에 대한 노하우 기술지원 - 4 M 피복관 코팅용 장비의 공정압력, 온도, 바이어스 전압 등의 공정 조건 도출 - 공자전 지그에 대한 피복관 장착 위치에 대한 조건 도출 - 크롬 코팅 방법 및 세정방법 등의 공정 운영의 최적화를 위한 기술지원 - 공정 수행에 대한 공정 절차서 작성 및 제출 |
| 접수일 | 2023-01-09 |
| 첨부파일 |
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| 구분 | 내용 |
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