한국생산기술연구원

연구안내

연구보고서 상세화면 : 보고서명, 연구책임자, 발행년도, 내용, 접수일, 첨부파일로 구성되어 있습니다.
보고서명	반도체 EPI 공정용 Slope 구조의 SUSCEPTOR 국산화 기술 개발
연구책임자	임진호
발행년도	2020
내 용	- EPI용 SUSCEPTOR 형상설계 기술 - EPI용 SUSCEPTOR 열분포 해석 - SiC용 소재 분석 및 Concave 가공기술 - EPI용 SUSCEPTOR 세정기술
접수일	2023-01-09
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