논문자료
| 논문집 | THIN SOLID FILMS |
| 논문명 | Influence of hydrogen supply on Mo(C,N) films synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using bis(tert-butylimido) bis(dimethylamido) molybdenum |
| 저 자 | 조용기 |
| 발행년도 | 2019 |
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